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奕叶探针台EB系列
参考价:

型号:EB-4

更新时间:2022-03-01  |  阅读:833

详情介绍

奕叶探针台EB系列

EB配图.png


一、显微镜操控规格


l 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm。

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度10μm。


二、台面规格


l 探针台台面平整度:5μm。

l 探针台台面为固定台面。


三、卡盘(载物台,即图中的chuck)规格


l 6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径 250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,能够吸住尺寸为6"X6"。

l 卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮。

l 卡盘座有小摇杆,提起90度后,可以使卡盘快速线性上升4mm,在做wafer点测时方便快速移动点测位置,同时做普通die或者decap后芯片点测时,方便快速更换样品。

l 卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为10μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能如果点测6"wafer的时候,可以6"wafer的每一点都能够点测到。


四、性能


l 真空吸附卡盘:对应可选4" 产品

l 卡盘X-Y方向线性移动行程:6"-6"

l 线性无回差调节

l 卡盘上/下移动行程:4mm

l 4", 6", 8", 12" 晶圆 (晶圆尺寸)

l 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盘平整度: 10um

l 卡盘旋转角度:0~360°


五、附件


l 显微镜倾仰装置

l 镀金卡盘

l 射频测试探头/电缆

l 有源探头

l 低电流/电容测试

l 高压测试

l 激光修复

l CCD/数字相机,USB接口

l 探针卡/封装/PCB板夹具

l 加热装置

l 防震桌

l 屏蔽箱



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